В городе Вельдховен на юге Нидерландов, недалеко от границы с Бельгией, находится единственный завод, способный собирать революционную машину, на которую полагаются крупнейшие мировые производители чипов.
Литография EUV — самый дорогой шаг в создании передовых микрочипов, которые питают центры обработки данных, автомобили и iPhone. Машины производятся только одной компанией: Advanced Semiconductor Materials Lithography.
«У ASML есть монополия на производство литографических машин EUV, самого передового типа литографического оборудования, необходимого для производства каждого передового процессорного чипа, который мы используем сегодня», — сказал Крис Миллер, доцент школы Флетчера в Университете Тафтса. «Машины, которые они производят, каждая из них является одним из самых сложных устройств, когда-либо созданных».
EUV означает экстремальный ультрафиолет, невероятно короткая длина волны света, который ASML генерирует в больших количествах для печати маленьких сложных рисунков на микрочипах. Свет EUV создается с помощью крошечных взрывов расплавленного олова, происходящих с огромной скоростью, а затем отражается от уникальных зеркал Zeiss, которые, по словам ASML, являются самой плоской поверхностью в мире. Небольшой процент частиц EUV света достигает поверхности кремниевой пластины, на которой печатаются мельчайшие рисунки, определяющие работу каждого чипа.
Спрос на технологию EUV компании ASML резко возрос во время глобального дефицита чипов, который привел к появлению заказов на самые разные товары — от консолей PlayStation 5 до седанов Chevrolet Malibu. С конца 2018 года цена акций компании взлетела более чем на 340%, что делает ASML более ценной, чем некоторые из ее ведущих клиентов, например, Intel.
Генеральный директор ASML Питер Веннинк сказал, что компания снижает цены на полупроводники с момента своего основания 38 лет назад и будет продолжать делать это «в течение следующих нескольких десятилетий».
«Миру нужно больше чипов», — сказал Веннинк CNBC. «Поэтому нам нужно производить больше машин, средняя цена продажи которых, кстати, будет продолжать расти, пока мы сможем снизить стоимость одного транзистора».
Тем не менее, Веннинк говорит, что глобальная нехватка чипов — это «уловка-22» для ASML.
«Мы получили много сообщений от наших поставщиков, в которых говорилось: «Эй, мы можем опоздать с поставкой наших модулей вам, ребята, потому что мы не можем достать чипы». И мы ответили: «Если мы не сможем получить чипы, мы не сможем производить машины для производства большего количества чипов».
Веннинк сказал, что ASML все еще справляется, «но это ежедневная борьба».
Оборудование стоимостью 200 миллионов долларов.
За последние десять лет компания ASML продала в общей сложности около 140 систем EUV, стоимость каждой из которых, по словам Веннинка, достигает 200 миллионов долларов. Стоимость следующей машины, названной High NA, составит более 300 миллионов долларов.
Их EUV-машина «настолько дорога, что большинство компаний не могут себе ее позволить» — сказала Джоанна Итоу, управляющий директор по производству в Semico Research. «Это, безусловно, устранило многих игроков с рынка», включая производителя чипов GlobalFoundries, который несколько лет назад решил прекратить работу над более продвинутыми чипами из-за высокой стоимости, сказала она.
Сегодня ASML продает машины только пяти производителям микросхем. Три крупнейших — Taiwan Semiconductor Manufacturing Co, Samsung, Intel — составили почти 84% ее бизнеса в 2021 году. Компания TSMC утверждает, что в 2019 году она первой поставила крупносерийные чипы, изготовленные с использованием технологии EUV, и с тех пор остается на первом месте, опережая технологии чипов Samsung и Intel как минимум на один узел.
Доминирование ASML — относительно новое явление. Десятилетие назад способность компании исследовать EUV определялась крупными инвестициями со стороны Intel, Samsung и TSMC.
«У нас не было денег» — сказал Веннинк, который пришел в ASML в 1999 году. «Поэтому мы вышли на рынок и нашли партнеров, что, собственно, и стало основой того, как мы строили компанию. Поэтому мы были вынуждены стать системным архитектором и системным интегратором».
ASML начиналась как дочерняя компания голландского гиганта электроники Philips в 1984 году. Она запустила свою первую машину для литографии полупроводников, которая была изобретена в американской военной лаборатории в 1950-х годах, из прохудившегося сарая рядом с офисным зданием Philips в Эйндховене. Нидерланды.
«Первый инструмент для литографии действительно был похож на проектор» — сказал Кристоф Фуке, исполнительный вице-президент ASML по EUV. «В основном, есть прицел, который удерживает изображение, которое вы хотите спроецировать. Затем есть оптическая система, которая принимает это изображение и проецирует его на пластину».
К 1988 году у ASML было пять американских офисов с 84 сотрудниками и новый голландский офис в Вельдховене, который со временем стал ее штаб-квартирой.
«Когда индустрия готовилась к началу исследований в области EUV, ни одна из американских компаний не была готова к тому, чтобы принять участие в дорогостоящем и рискованном проекте, в то время как ASML была готова» — сказал Миллер, автор готовящейся к изданию книги «Война чипов: борьба за самую важную технологию в мире». «ASML — голландская компания, но это также голландская компания, которая очень сильно зависит от американских компонентов, в частности, для своих устройств».
Китай и глобальная цепочка поставок.
Установки EUV состоят из нескольких модулей с сотнями тысяч компонентов от почти 800 мировых поставщиков. Каждый модуль собирается на одном из 60 предприятий ASML по всему миру, а затем отправляется в Вельдховен для сборки. После тестирования каждого собранного модуля его разбирают для отправки производителю микросхем. Для перевозки требуется 20 грузовиков и три полностью загруженных самолета Boeing 747.
Одна страна, в которую ASML не будет поставлять свою технологию EUV — это Китай.
«Сорок две страны по всему миру согласились ввести меры экспортного контроля, потому что это очень важно» — сказал Веннинк. «Так что это не наш выбор, а выбор правительств».
По сообщениям, еще в 2018 году администрация Трампа настаивала на том, чтобы ASML не продавала технологию EUV китайским компаниям.
«Китай хотел вступить в эту гонку — сказала Итоу, но были политически мотивированные причины, по которым Китай не имел доступа» к технологии.
ASML имеет дело с Китаем в другом качестве. Компания ремонтирует старые системы литографии, называемые глубоким ультрафиолетом, или DUV, и отправляет многие из них в самую густонаселенную страну мира. Веннинк сказал, что 96% всех машин, когда-либо проданных ASML, все еще работают.
«Существует много споров о том, является ли продажа дополнительного оборудования DUV в Китай также риском для национальной безопасности, поскольку позволяет Китаю увеличить свои возможности по производству полупроводников, близких к передовым» — сказал Миллер. «Я думаю, есть вероятность, что в ближайшие годы будут введены новые ограничения на возможность ASML продавать оборудование DUV в Китай».
До появления EUV производители микросхем могли покупать оборудование для литографии DUV у трех компаний: ASML, Nikon и Canon. В то время как японская компания Nikon все еще является конкурентом на этом рынке, ASML — единственный вариант для EUV. Эксперты говорят, что у любой другой компании могут уйти десятилетия на то, чтобы догнать ее, как из-за запатентованной технологии ASML, так и потому, что она заключила сложные, часто эксклюзивные, сделки с сотнями поставщиков.
«Мы уникальны для некоторых из наших клиентов, а некоторые из наших поставщиков уникальны для нас» — сказал Веннинк. «И эти почти симбиотические отношения, как говорят некоторые люди, хуже, чем брак, потому что вы не можете развестись».
Одним из способов защиты ASML от рисков цепочки поставок является покупка некоторых поставщиков, таких как Cymer в Сан-Диего, где производится источник света EUV. ASML также купила компанию Berliner Glas в 2020 году. Хотя в январе на предприятии в Берлине произошел пожар, Веннинк сказал, что ущерб не окажет существенного влияния на выпуск систем в этом году.
ASML прогнозировал рост продаж на 20% в 2022 году и ежегодный рост доходов на 11% до конца десятилетия.